超声扫描显微镜(英文:Scanning Acoustic Microscope)简称超声SAM,以声波作为探测信号,通过高频超声换能器接收到的反射和透射信号,利用特殊的软件构建出二维的C扫描图像的声学检测设备,能够对各种材料和不同焊接工艺以及精密元器件内部缺陷、空洞、分层、夹杂、裂纹、焊接不良等进行检测。具体主要有涂层结合质量、内部焊接质量、轴套贴合质量、内孔钎着率质量、键合层质量、浸润性检测、靶材纯净度等。采声-超声检测涵盖了水浸超声系统、喷水超声系统、空耦超声系统和显微超声系统;应用于主机厂(航空航天)大型板棒(管)材、航材零部件、复合材料、汽车轴套、铝合金钎焊冷板、蜂窝板、金刚石复合片和电子芯片封装等领域。
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