半导体晶圆静电吸盘·陶瓷基板质量检测

引言：静电吸附最早在1923年被国外学者发现，若两种金属间存在一定的电势差，异种电荷相互吸引，就会产生吸附现象。后来基于这种吸附效应发现，不仅存在于金属导电材料之间，非导电材料，也存在吸附效应。

静电吸附力

静电吸盘Electrostatic Chuck（缩写为 ESC），又叫静电卡盘，用来吸附和固定半导体晶圆。其优点保证晶圆加工时的精确度，应用于真空环境中，很大程度上减少了晶圆表面污染和损伤。在制备上利用氧化铝陶瓷材料作为背板，它的耐磨性和导热性比金属材料在电绝缘方面更有“天赋”。

随着我国半导体行业发展的大幅度上涨的趋势，静电吸盘的市场需求也不断增长，据了解全球静电吸盘市场份额主要有美国和日本主导，我国静电吸盘市场供应不足，为了提升技术并减少成本，静电吸盘的质量分析与研究对我国半导体事业发展具有重要意义。

图片来源于网络：静电吸盘及内部构成 

静电吸盘内部缺陷会直接影响吸附力、可靠性和使用后寿命。在原材料生产时，烧结升温速率过快会使陶瓷基板内部产生微小裂纹或气孔，这些缺陷贯穿电解质层，导致电极间漏电，吸附力衰减，严重时，造成工件（晶圆）坠落，会给企业带来无法避免的损失。无损检测中，超声波C扫描设备可以检测陶瓷基板内部缺陷，提高产品良品率。

采声·水浸超声扫描显微镜